二维光子晶体微加工方法的研究与进展

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	二维光子晶体微加工方法的研究与进展
	许兴胜
刊名	科学通报
	2006
卷号	51 期号:20 页码:2337-2346
中文摘要	光子晶体这类新型材料的出现使人们操纵和控制光子的梦想成为可能，全光集成也将会因光子晶体的应用有突破性进展．光子晶体集成能否实现将以光子晶体器件为基础，因此首先要研究并实现将在光子集成上有很大应用前景的半导体材料的各种有源和无源光子晶体器件．二维光子晶体研制的最实用和最重要手段是微加工方法．总结了近红外波段的二维光子晶体微加工方法，包括电子束曝光、模板选用和干法刻蚀等，并进行了评述和展望，介绍了自己的工艺方法．
英文摘要	光子晶体这类新型材料的出现使人们操纵和控制光子的梦想成为可能，全光集成也将会因光子晶体的应用有突破性进展．光子晶体集成能否实现将以光子晶体器件为基础，因此首先要研究并实现将在光子集成上有很大应用前景的半导体材料的各种有源和无源光子晶体器件．二维光子晶体研制的最实用和最重要手段是微加工方法．总结了近红外波段的二维光子晶体微加工方法，包括电子束曝光、模板选用和干法刻蚀等，并进行了评述和展望，介绍了自己的工艺方法．; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:02:16导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:02:16Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4124.pdf: 951659 bytes, checksum: b645ab819ec616e5481dd67beb944d07 (MD5) Previous issue date: 2006; 致谢本工作受国家自然科学基金项目资助; 中国科学院半导体研究所;中国科学院物理研究所
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	致谢本工作受国家自然科学基金项目资助
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16413]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	许兴胜. 二维光子晶体微加工方法的研究与进展[J]. 科学通报,2006,51(20):2337-2346.
APA	许兴胜.(2006).二维光子晶体微加工方法的研究与进展.科学通报,51(20),2337-2346.
MLA	许兴胜."二维光子晶体微加工方法的研究与进展".科学通报 51.20(2006):2337-2346.